Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH aus Seligenstadt — Hersteller von Plasmaanlagen und der zugehörigen Hochfrequenztechnik. Systeme für Plasmareinigung, Plasmaaktivierung, Plasmaätzen und Plasmabeschichtung – von RIE- und PECVD-Anlagen über Sputteranlagen bis zu Cluster- und Inline-Anlagen sowie Mikrowellen-Plasmaquellen. Zweite Säule sind HF-Komponenten: Impedanz-Anpassungsnetzwerke der Baureihe PRODIK, Schalter, Filter, Leistungsteiler, Phasenschieber, Generatoren und Messtechnik. Ein Sonderzweig sind HF-Systeme für Teilchenbeschleuniger mit einer belegten Installation am CERN. Ergänzt um eigenes Applikationslabor, Technologieberatung, Anlagenauslegung mit Feldberechnung und EMV-Messungen. Zwei Standorte: Seligenstadt und Berlin-Adlershof.

Leistungen und Produkte

Das Angebot von Aurion Anlagentechnik GmbH umfasst unter anderem:

• Sputteranlagen – Beschichtungsanlagen für dünne Schichten durch Kathodenzerstäubung.
• Atmosphärendruck-Sputtern – Sputterprozess ohne Vakuumkammer; eigene Fachveröffentlichung dazu in Galvanotechnik 2015.
• KIVOS-Konzept – Eigenes Anlagenkonzept, als eigener Navigationspunkt geführt.
• RIE-Anlagen (Reactive Ion Etching) – Plasmaätzen für Halbleiter- und Mikrostrukturen.
• PECVD-Anlagen – Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung.
• Mikrowellen-Plasmasysteme – Plasmaerzeugung über Mikrowelleneinkopplung; mehrfach publiziert, u. a. zur integrierten Atmosphären-Mikrowellenplasmaquelle mit GaN-HEMT.
• Cluster- und Inline-Anlagen – Verkettete beziehungsweise durchlaufende Anlagenkonzepte für die Serienfertigung.
• PRODIK Impedanz-Anpassungsnetzwerke – Vollautomatische Anpassung der Plasmaimpedanz an den HF-Generator, 13,56 MHz. Vakuum- und Keramikkondensatoren.
• HF-Schalter, Filter, Power Splitter, Phasenschieber – Passive Komponenten der Leistungsverteilung im Plasmaprozess.
• Übertragungsstrecken, HF-Generatoren, HF-Messtechnik – HF-gerechte Leitungsführung, Leistungserzeugung sowie Erfassung und Kontrolle der eingespeisten Leistung.

Zertifizierungen und Qualität

• DIN EN ISO 9001
• BSFZ-Siegel (Bescheinigungsstelle Forschungszulage) – Amtliche Bestätigung begünstigter Forschungs- und Entwicklungstätigkeit.

Standort und Kontakt

Aurion Anlagentechnik GmbH ist auf itsbetter in Oberflächentechnik, Elektronik & Elektrotechnik, Zulieferindustrie / Zulieferer gelistet und gehört zu den Anbietern aus Hessen. Sitz: Am Sandborn 14, 63500 Seligenstadt.

Erreichbar Mo–So 08:00–18:00 Uhr.

Stichworte: Etching, Plasma, Microwave, Vacuum systems, Plasma technology, Sputtering, Simulationstechnik, Simulator pt100, Vacuum process technique, Plasma coating, Simulationx, Rf components